2018 DIENER Tetra 100 Plasma system

2018 Tetra 100_LF-PC-c I sistemi possono essere utilizzati per l'attacco con ioni reattivi. Ciò consente alle superfici di essere incise con precisione, sia chimicamente che fisicamente. La precisione dell'altezza dell'incisione dipende dal processo, ma di solito può essere controllata in modo abbastanza preciso fino all'intervallo nanometrico da due cifre a una cifra. Il sistema offre anche la possibilità di depositare polimerizzando gas nel plasma sotto forma di film sottili. La precisione dell'altezza dipende ovviamente anche dal processo. Valori tipici qui sono anche nella gamma nanometrica bassa a due cifre. * Ore di funzionamento  Impianto al plasma: 1004 * Pompa a motore ventilato: 644 Il sistema resistente ai gas corrosivi è dotato di una speciale camera a vuoto che misura 400 mm x 625 mm x 400 mm (L x P x A). IL la camera a vuoto può essere completamente aperta utilizzando un cassetto automatizzato. Un telaio di supporto per i substrati si trova verticalmente in corrispondenza l'estremità del cassetto sul lato del sistema. Forma il controelettrodo dell'elettrodo nella camera a vuoto. Entrambi gli elettrodi sono dotati di un circuito dell'acqua di raffreddamento. Supporti del substrato con aperture in direzione dell'elettrodo può essere montato nel telaio di supporto del cassetto. I campioni che puntano verso l'elettrodo attraverso le aperture nel il telaio di supporto può essere trattato nel processo al plasma. Il volume rimanente del cassetto è sotto vuoto spinto durante il processo, ma non è esposto al plasma stesso. Il cassetto è inoltre dotato di flange per l'inserimento di campioni più grandi camera al plasma. L'accesso alla zona cassetti è monitorato da un sistema di sicurezza basato su barriere fotoelettriche. Il sistema è perfettamente funzionante. È stato messo in funzione brevemente e una volta a scopo di prova nel dicembre 2023. - Dimensioni e pesi se conosciuti Sistema al plasma Tetra 100_LF-PC-c - Dimensioni (L x P x A) 600 mm x 1200 mm x 2100 mm - Peso: ca. 350 chilogrammi Pompa a motore ventilato Edwards iH1800 - Dimensioni: (L (all'alloggiamento del sistema di scarico) x L x A (al convertitore di frequenza)) 986 (1.059) mm x 470 mm x 888 (1.094) mm - Peso: 502 kg Rittal SK Chiller TopTherm (SK 3334.600) - Dimensioni: (L x P x A) 602 mm x 645 mm x 676 mm - Peso/peso operativo: 125 kg/155 kg Frigorifero mobile Van Der Heijden (refrigeratore da laboratorio) Tipo: 0000-A-KH-B400-TT-12-54-62 - Dimensioni: (L x P x A) 360 mm x 470 mm x 590 mm - Peso: 46 kg - Informazioni tecniche di base sui sistemi al plasma - Impianto al plasma tipo Tetra 100 (Diener electronic Vertriebs GmbH + Co. KG), versione per gas corrosivo - Collegamento 400 V / 32 A - Controllo completo del PC con opzione di manutenzione remota tramite TeamViewer - Generatore tipo A (80 kHz, 0 -1000 W) - Elettrodo, raffreddato ad acqua, alluminio, 314 mm x 25 mm x 318 mm (L x P x A) - Camera a vuoto speciale, acciaio inossidabile, vetri di ispezione posteriori, con cassetto, automatizzata ed azionata elettricamente, Dimensioni L: 400 mm, P: 625 mm, A: 400 mm (volume: circa 100 litri) - Portacampioni raffreddato ad acqua, incl. termometro (integrato nel software di controllo) - Dosaggio per Silan A 174 (incl. cartuccia riscaldante, unità di dosaggio, integrazione software, alimentazione alla camera tramite gas separato ingresso) - Riduttore di pressione per ossigeno, gas nobili (incl. manometri di ingresso e uscita) - Riduttore di pressione SF6, C4F8 - Pompa a motore ventilato Edwards iH1800 400 V, capacità di aspirazione 1800 m3/h - Rittal SK Chiller TopTherm (SK 3334.600) - Unità di raffreddamento mobile Van Der Heijden (refrigeratore da laboratorio) tipo: 0000-A-KH-B400-TT-12-54-62, intervallo di impostazione: -5°C - +25°C, Capacità della pompa max. 28 l/min - Filtro al carbone attivo KF 40 - Lingua del software: tedesco, inglese, ungherese - Istruzioni per l'uso in tedesco - Stato di manutenzione Ultima manutenzione da parte del produttore 18.10.2019 (il ciclo di manutenzione annuale è stato annullato per successivo fermo impianto) - Pezzi di ricambio forniti - 1 elettrodo, raffreddato ad acqua, titanio, 314 mm x 25 mm x 318 mm (L x P x A) - 1 elettrodo, raffreddato ad acqua, acciaio inossidabile, 314 mm x 25 mm x 318 mm (L x P x A), come nuovo - 4 elettrodi con bullone di fissaggio - 1 supporto per substrato Scopri di più qui - https://www.ucymachines.com/ [https://www.ucymachines.com/] Contattaci a - sales@ucymachines.com