2018 DIENER Tetra 100 Plasma system

2018 Tetra 100_LF-PC-c Les systèmes peuvent être utilisés pour la gravure ionique réactive. Cela permet aux surfaces d'être gravées avec précision, à la fois chimiquement et physiquement. La précision de la hauteur de gravure dépend du processus, mais peut généralement être contrôlée de manière assez précise. jusqu'à la plage nanométrique inférieure à deux chiffres ou à un chiffre. Le système offre également la possibilité de déposer des produits polymérisants gaz présents dans le plasma sous forme de films minces. La précision de la hauteur dépend bien entendu également du processus. Valeurs typiques ici se situent également dans la plage nanométrique à deux chiffres. * Heures de fonctionnement du système plasma : 1004 * Pompe à glande : 644 Le système résistant aux gaz corrosifs dispose d'une chambre à vide spéciale mesurant 400 mm x 625 mm x 400 mm (L x P x H). Le la chambre à vide peut être entièrement ouverte à l’aide d’un tiroir automatisé. Un cadre de maintien des substrats est situé verticalement à l'extrémité du tiroir côté système. Il forme la contre-électrode de l’électrode dans la chambre à vide. Les deux Les électrodes sont équipées d'un circuit d'eau de refroidissement. Supports de substrat avec ouvertures en direction de l'électrode peut être monté dans le cadre de maintien du tiroir. Les échantillons pointant vers l'électrode à travers les ouvertures du le cadre de maintien peut être traité par le procédé plasma. Le volume restant du tiroir est sous vide poussé pendant le processus, mais n’est pas exposé au plasma lui-même. Le tiroir est également doté de brides permettant d'insérer des échantillons plus gros dans le chambre à plasma. L'accès à la zone des tiroirs est surveillé par un système de sécurité basé sur des barrières lumineuses. Le système est entièrement fonctionnel. Il a été mis en service brièvement et une fois à des fins de test en décembre 2023. - Dimensions et poids si connus Système plasma Tetra 100_LF-PC-c - Dimensions (L x P x H) 600 mm x 1200 mm x 2100 mm - Poids : env. 350 kg Pompe à presse-étoupe Edwards iH1800 - Dimensions : (L (au boîtier du système d'échappement) x L x H (au convertisseur de fréquence)) 986 (1 059) mm x 470 mm x 888 (1 094) mm - Poids : 502 kg Refroidisseur Rittal SK TopTherm (SK 3334.600) - Dimensions : (L x P x H) 602 mm x 645 mm x 676 mm - Poids / poids opérationnel : 125 kg / 155 kg Réfrigérateur mobile Van Der Heijden (refroidisseur de laboratoire) Type : 0000-A-KH-B400-TT-12-54-62 - Dimensions : (L x P x H) 360 mm x 470 mm x 590 mm - Poids : 46 kg - Informations techniques de base sur les systèmes plasma - Système plasma type Tetra 100 (Diener electronic Vertriebs GmbH + Co. KG), version gaz corrosifs - Raccordement 400 V / 32 A - Contrôle complet du PC avec option de maintenance à distance via TeamViewer - Générateur type A (80 kHz, 0 -1000 W) - Électrode, refroidie à l'eau, aluminium, 314 mm x 25 mm x 318 mm (L x P x H) - Chambre à vide spéciale, en acier inoxydable, voyants à l'arrière, avec tiroir, automatisée et à entraînement électrique, Dimensions L : 400 mm, P : 625 mm, H : 400 mm (volume : env. 100 litres) - Porte-échantillon refroidi à l'eau, incl. thermomètre (intégré au logiciel de contrôle) - Dosage pour Silan A 174 (y compris cartouche chauffante, unité de dosage, intégration logicielle, alimentation de la chambre via un gaz séparé entrée) - Détendeur pour oxygène, gaz rares (y compris manomètres d'entrée et de sortie) - Détendeur SF6, C4F8 - Pompe à presse-étoupe Edwards iH1800 400 V, capacité d'aspiration 1800 m3/h - Refroidisseur Rittal SK TopTherm (SK 3334.600) - Unité de refroidissement mobile Van Der Heijden (refroidisseur de laboratoire) type : 0000-A-KH-B400-TT-12-54-62, plage de réglage : -5°C - +25°C, Capacité de la pompe max. 28 l/min - Filtre à charbon actif KF 40 - Langue du logiciel : allemand, anglais, hongrois - Mode d'emploi en allemand - Statut d'entretien Dernière maintenance par le fabricant 18.10.2019 (le cycle de maintenance annuel a été annulé en raison d'un arrêt ultérieur du système) - Pièces détachées fournies - 1 x électrode, refroidie à l'eau, titane, 314 mm x 25 mm x 318 mm (L x P x H) - 1 x électrode, refroidie à l'eau, en acier inoxydable, 314 mm x 25 mm x 318 mm (L x P x H), comme neuve - 4 x électrodes à boulon de maintien - 1 x support de substrat En savoir plus ici - https://www.ucymachines.com/ [https://www.ucymachines.com/] Contactez-nous à - sales@ucymachines.com