2018 DIENER Tetra 100 Plasma system

2018 Tetra 100_LF-PC-c Los sistemas se pueden utilizar para el grabado de iones reactivos. Esto permite grabar superficies con precisión, tanto química como físicamente. La precisión de la altura del grabado depende del proceso, pero normalmente se puede controlar con bastante precisión. hasta el rango nanométrico de dos dígitos a un solo dígito. El sistema también ofrece la opción de depositar polimerizantes. gases en el plasma como películas delgadas. Por supuesto, la precisión de la altura también depende del proceso. Valores típicos aquí también se encuentran en el rango bajo de nanómetros de dos dígitos. * Horas de funcionamiento  Sistema de plasma: 1004 * Bomba de glándulas: 644 El sistema resistente a los gases corrosivos tiene una cámara de vacío especial que mide 400 mm x 625 mm x 400 mm (ancho x fondo x alto). El La cámara de vacío se puede abrir completamente mediante un cajón automatizado. Un marco de soporte para sustratos se encuentra verticalmente en el extremo del cajón en el lado del sistema. Forma el contraelectrodo del electrodo en la cámara de vacío. Ambos Los electrodos están equipados con un circuito de agua de refrigeración. Soportes de sustrato con aberturas en dirección al electrodo Se puede montar en el marco de soporte del cajón. Muestras que apuntan hacia el electrodo a través de las aberturas en el El marco de soporte se puede tratar en el proceso de plasma. El volumen restante del cajón está en alto vacío durante el proceso, pero no está expuesto al plasma mismo. El cajón también tiene bridas para insertar muestras más grandes en el cámara de plasma. El acceso a la zona de cajones está controlado por un sistema de seguridad basado en barreras luminosas. El sistema es completamente funcional. Se puso en funcionamiento brevemente y una vez con fines de prueba en diciembre de 2023. - Dimensiones y pesos si se conocen. Sistema de plasma Tetra 100_LF-PC-c - Dimensiones (An x Pr x Al) 600 mm x 1200 mm x 2100 mm - Peso aproximado. 350 kilos Bomba de glándula Edwards iH1800 - Dimensiones: (L (a la carcasa del sistema de escape) x W x H (al convertidor de frecuencia)) 986 (1059) mm x 470 mm x 888 (1094) mm - Peso: 502 kg Enfriadora Rittal SK TopTherm (SK 3334.600) - Dimensiones: (Ancho x Fondo x Alto) 602 mm x 645 mm x 676 mm - Peso / peso operativo: 125 kg / 155 kg Frigorífico móvil Van Der Heijden (enfriador de laboratorio) Tipo: 0000-A-KH-B400-TT-12-54-62 - Dimensiones: (Ancho x Fondo x Alto) 360 mm x 470 mm x 590 mm - Peso: 46 kg - Información técnica básica sobre los sistemas de plasma. - Sistema de plasma tipo Tetra 100 (Diener electronic Vertriebs GmbH + Co. KG), versión con gas corrosivo - Conexión 400 V / 32 A - Control total del PC con opción de mantenimiento remoto a través de TeamViewer - Generador tipo A (80 kHz, 0 -1000 W) - Electrodo, refrigerado por agua, aluminio, 314 mm x 25 mm x 318 mm (ancho x profundo x alto) - Cámara de vacío especial, de acero inoxidable, mirillas traseras, con cajón, automatizada y accionada eléctricamente, Dimensiones ancho: 400 mm, fondo: 625 mm, alto: 400 mm (volumen: aprox. 100 litros) - Portamuestras refrigerado por agua, incl. termómetro (integrado en el software de control) - Dosificación para Silan A 174 (incl. cartucho calefactor, unidad de dosificación, integración de software, suministro a la cámara mediante gas separado) entrada) - Reductor de presión para oxígeno, gases nobles (incl. manómetros de entrada y salida) - Reductor de presión SF6, C4F8 - Bomba de rotor seco Edwards iH1800 de 400 V, capacidad de aspiración 1800 m3/h - Enfriadora Rittal SK TopTherm (SK 3334.600) - Unidad de refrigeración móvil Van Der Heijden (enfriador de laboratorio) tipo: 0000-A-KH-B400-TT-12-54-62, rango de ajuste: -5°C - +25°C, Capacidad de la bomba máx. 28 l/min - Filtro de carbón activado KF 40 - Idioma del software: alemán, inglés, húngaro - Instrucciones de funcionamiento en alemán. - Estado de mantenimiento Último mantenimiento realizado por el fabricante el 18.10.2019 (el ciclo de mantenimiento anual se canceló debido al posterior apagado del sistema) - Repuestos suministrados - 1 electrodo, refrigerado por agua, titanio, 314 mm x 25 mm x 318 mm (ancho x profundo x alto) - 1 electrodo, refrigerado por agua, acero inoxidable, 314 mm x 25 mm x 318 mm (ancho x profundo x alto), como nuevo - 4 x electrodo de perno de sujeción - 1 x soporte para sustrato Encuentre más aquí - https://www.ucymachines.com/ [https://www.ucymachines.com/] Contáctenos en - sales@ucymachines.com