2010 SUSS MicroTec Gamma

Hersteller: SÜSS Modell: MicroTec Gamma Herstellungsjahr: 2010 CE-Kennzeichnung: Ja ELEKTRISCHE SPEZIFIKATIONEN: * Spannung: 400V, 3-phasig +N+PE * Leistung: 22 kVA, 50 Hz * AIC: 100 kA / 400 V * Volllaststrom: 32 A PNEUMATISCHE ANFORDERUNGEN: * CDA (Saubere, trockene Luft): 5 bar * Stickstoff (N₂): 5 bar * Vakuum (VAC): -0,8 bar * Deionisiertes Wasser (DIW): 5 bar SYSTEMÜBERSICHT: Leistungsstarkes automatisiertes Beschichtungs-/Entwicklungssystem für die Halbleiter- und MEMS-Verarbeitung. Ideal für 4" bis 8" Wafer. * Wafergröße: 4-fach I/O für 4"–8" Wafer * Software: Version 4.41c(23) * Betriebssystem: Windows XP Professional, Version 2002, Service Pack 3 * Prozessor: 2,0 GHz * Speicher: 500 MB RAM KONFIGURATION: * 4-fach I/O mit Sankio Doppelgreifer * 2 Entwicklermodule (1 mittlere Größe) * 1 Beschichtungsmodul (2 Lacke, IDI) * 7 Kochplatten (HP) * 2 Kühlplatten (CP) * 1 Flutlichtanlage * Mechanische Zentrierung * Medienschrank * Schaltschrank * 4x Julabo Temperaturregler Weitere Informationen finden Sie hier - https://www.ucymachines.com/ [https://www.ucymachines.com/] Kontaktieren Sie uns unter sales@ucymachines.com