2018 DIENER Tetra 100 Plasma system

2018 Tetra 100_LF-PC-c Die Systeme können zum reaktiven Ionenätzen eingesetzt werden. Dadurch können Oberflächen sowohl chemisch als auch physikalisch. Die Höhengenauigkeit der Ätzung hängt vom Verfahren ab, kann aber meist recht genau kontrolliert werden bis in den niedrigen zweistelligen bis einstelligen Nanometerbereich. Das System bietet zudem die Möglichkeit, polymerisierende Gase im Plasma als dünne Filme. Die Höhenpräzision ist natürlich auch prozessabhängig. Typische Werte hier liegen ebenfalls im niedrigen zweistelligen Nanometerbereich. * Betriebsstunden Plasmaanlage: 1004 * Trockenläuferpumpe: 644 Das ätzgasbeständige System verfügt über eine spezielle Vakuumkammer mit den Maßen 400 mm x 625 mm x 400 mm (B x T x H). Der Die Vakuumkammer kann mithilfe einer automatischen Schublade vollständig geöffnet werden. Vertikal befindet sich ein Halterahmen für Substrate das Ende der Schublade auf der Systemseite. Sie bildet die Gegenelektrode zur Elektrode in der Vakuumkammer. Beide Elektroden sind mit einem Kühlwasserkreislauf ausgestattet. Substrathalter mit Öffnungen in Richtung der Elektrode montierbar im Halterahmen der Schublade. Proben, die durch die Öffnungen in der zur Elektrode zeigen Halterahmen können im Plasmaverfahren behandelt werden. Das verbleibende Volumen der Schublade befindet sich während des Hochvakuums Prozess, ist aber nicht dem Plasma selbst ausgesetzt. Die Schublade verfügt außerdem über Flansche zum Einlegen größerer Proben Plasmakammer. Der Zugang zum Schubladenbereich wird durch ein Sicherheitssystem auf Basis von Lichtschranken überwacht. Das System ist voll funktionsfähig. Die Inbetriebnahme erfolgte kurzzeitig und einmalig zu Testzwecken im Dezember 2023. - Maße und Gewichte sofern bekannt Plasmaanlage Tetra 100_LF-PC-c - Abmessungen (B x T x H) 600 mm x 1200 mm x 2100 mm - Gewicht ca. 350 kg Edwards iH1800 Trockenläuferpumpe - Abmessungen: (L (bis zum Gehäuse der Abgasanlage) x B x H (bis zum Frequenzumrichter)) 986 (1059) mm x 470 mm x 888 (1094) mm - Gewicht: 502 kg Rittal SK Chiller TopTherm (SK 3334.600) - Abmessungen: (B x T x H) 602 mm x 645 mm x 676 mm - Gewicht / Betriebsgewicht: 125 kg / 155 kg Van Der Heijden mobiler Kühlschrank (Laborkühler) Typ: 0000-A-KH-B400-TT-12-54-62 - Abmessungen: (B x T x H) 360 mm x 470 mm x 590 mm - Gewicht: 46 kg - Grundlegende technische Informationen zu den Plasmasystemen - Plasmaanlage Typ Tetra 100 (Diener electronic Vertriebs GmbH + Co. KG), Schadgasausführung - Anschluss 400 V / 32 A - Vollständige PC-Steuerung mit Fernwartungsmöglichkeit über TeamViewer - Generator Typ A (80 kHz, 0 -1000 W) - Elektrode, wassergekühlt, Aluminium, 314 mm x 25 mm x 318 mm (B x T x H) - Spezial-Vakuumkammer, Edelstahl, Schaugläser hinten, mit Schublade, automatisiert und elektrisch angetrieben, Maße B: 400 mm, T: 625 mm, H: 400 mm (Volumen: ca. 100 Liter) - Wassergekühlter Probenhalter, inkl. Thermometer (in Steuerungssoftware integriert) - Dosierung für Silan A 174 (inkl. Heizpatrone, Dosiereinheit, Softwareintegration, Versorgung der Kammer über separates Gas Einlass) - Druckminderer für Sauerstoff, Edelgase (inkl. Eingangs- und Ausgangsdruckmanometer) - Druckminderer SF6, C4F8 - 400 V Edwards iH1800 Trockenläuferpumpe, Saugleistung 1800 m3/h - Rittal SK Chiller TopTherm (SK 3334.600) - Van Der Heijden mobiles Kühlgerät (Laborkühler) Typ: 0000-A-KH-B400-TT-12-54-62, Einstellbereich: -5°C - +25°C, Pumpenleistung max. 28 l/min - Aktivkohlefilter KF 40 - Softwaresprache: Deutsch, Englisch, Ungarisch - Bedienungsanleitung in Deutsch - Wartungsstatus Letzte Wartung durch den Hersteller 18.10.2019 (jährlicher Wartungszyklus wurde wegen anschließender Systemabschaltung abgesagt) - Ersatzteile geliefert - 1 x Elektrode, wassergekühlt, Titan, 314 mm x 25 mm x 318 mm (B x T x H) - 1 x Elektrode, wassergekühlt, Edelstahl, 314 mm x 25 mm x 318 mm (B x T x H), neuwertig - 4 x Haltebolzen-Elektrode - 1 x Substrathalter Weitere Informationen finden Sie hier - https://www.ucymachines.com/ [https://www.ucymachines.com/] Kontaktieren Sie uns unter sales@ucymachines.com